超純水帯電防止器
半導体部品の製造において、超純水による精密洗浄は必要不可欠です。
概要
通常の精密洗浄は、イオン成分が殆ど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生し易く、
下記の様な障害から製品不良の一因となっているケースがあります。
- 静電気による回路破壊（=静電破壊）
- 被洗浄物の表面荷電, 静電気による微粒子の再付着
超純水に炭酸ガスを溶解（酸性機能水）するメグコン、アンモニア水を溶解（アルカリ性機能水）する
アルカリメグコンは、この静電気に起因する障害を解決し、製品不良の低減（歩留り向上）に貢献します。
用途
- ダイシング工程における洗浄
- 高圧ジェット洗浄
- スクラバー洗浄
- 液晶パネルの洗浄
- フォトマスク製造におけるブランクスの洗浄や中間・最終洗浄
など
分類
メグコン
【特徴】
- 1.炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解するため、微粒子混入リスクが小さく信頼性が高い
- 2.フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
- 3.装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
- 4.欧州へ輸出可能なCEマーキング※ シリーズをラインナップ
※ 欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です
【原理】
炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。
【型式・仕様】
| 汎用シリーズ | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | ラック型 | PRCⅡ-1000AD | PRCⅡ-1200AD | PRCⅡ-2000AD | PRCⅡ-1220AD | |
| キャビネット型 | 標準タイプ | PRCⅡ-1000ACD | PRCⅡ-1200ACD | PRCⅡ-2000ACD | PRCⅡ-1220ACD | |
| Sタイプ ※1 | PRCⅡ-1000ACD-S | PRCⅡ-1200ACD-S | PRCⅡ-2000ACD-S | PRCⅡ-1220ACD-S | ||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 1000 L/h | 2000 L/h | 2000 L/h | |
| 制御域 （最小比抵抗値は、流量約500L/hの場合の到達値です） |
0.2～2 MΩ・cm |
0.1～0.5 MΩ・cm |
0.2～2 MΩ・cm |
0.15～1 MΩ・cm |
||
| 脱乾燥機構 | エアーポンプ内蔵式 | |||||
| 超純水 接続口径 |
ラック型 | ホースノズル（ID19φブレードホース用） | ||||
| キャビネット型 | Rc1/2 | Rc3/4 | ||||
| 寸法 | ラック型 | 480W×355D×200H mm | ||||
| キャビネット型 | 標準タイプ | 520W×400D×1150H mm | ||||
| Sタイプ ※1 | 520W×400D×1415H mm | |||||
| 重量 | ラック型 | 15kg | ||||
| キャビネット型 | 標準タイプ | 65kg | ||||
| Sタイプ ※1 | 66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） （ご指定無き場合は、AC100-120Vとなります） |
|||||
| 接液部材質 | セル（炭酸ガス導入部）→PP 配管→PVC、ブレードホース |
|||||
| キャビネット 塗装色 |
マンセル2.5Y8/2 | |||||
| 標準付属品 ※2 | ラック型 | 取扱説明書、検査成績書 | ||||
| キャビネット型 | 標準タイプ | 取扱説明書、検査成績書 電源100-120Vの場合：電源コード（AC100-120V用）+プラグ付 電源200-240Vの場合：電源コード（AC200-240V用） （上記以外の場合は、お客様にてご準備ください） |
||||
| Sタイプ ※1 | ||||||
| CEマーキングシリーズ | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 型式 | ラック型 | - | - | |||
| キャビネット型 | Eタイプ | FRCⅡ-1000ACD-E | FRCⅡ-2000ACD-E | |||
| ESタイプ ※1 |
FRCⅡ-1000ACD-ES | FRCⅡ-2000ACD-ES | ||||
| 性能 | 最大流量 | 1000 L/h | 2000 L/h | |||
| 制御域 （最小比抵抗値は、流量約500L/hの場合の到達値です） |
0.2～2 MΩ・cm |
0.2～2 MΩ・cm |
||||
| 脱乾燥機構 | 外部エアー供給式 | |||||
| 超純水 接続口径 |
ラック型 | - | ||||
| キャビネット型 | Rc3/4 | |||||
| 寸法 | ラック型 | - | ||||
| キャビネット型 | Eタイプ | 520W×470D×1150H mm （転倒防止用アンカースペース含む） |
||||
| ESタイプ ※1 |
520W×470D×1390H mm （転倒防止用アンカースペース含む） |
|||||
| 重量 | ラック型 | - | ||||
| キャビネット型 | Eタイプ | 65kg | ||||
| ESタイプ ※1 |
66kg | |||||
| 電源 | AC100-240V（50/60Hz） | |||||
| 接液部材質 | セル（炭酸ガス導入部）→PP 配管→SUS304、PP、ブレードホース |
|||||
| キャビネット 塗装色 |
マンセル2.5GY8.0/0.5 | |||||
| 標準付属品 ※2 | ラック型 | - | ||||
| キャビネット型 | Eタイプ | 取扱説明書、検査成績書 電源コード（AC100-240V用）+欧州タイプ プラグ付 |
||||
| ESタイプ ※1 |
取扱説明書、検査成績書 電源コード（AC100-240V用）+欧州タイプ プラグ付 データ保存システム |
|||||
-
※1:Sタイプは、ブザー付2色灯+レベラー付キャスター付となります。ESタイプは、ブザー付2色灯+データ出力用端子ボックス付となり、さらに、データ保存システムが付属します。
-
※2:その他の付属品としては、下記から選定頂けます。予備セルについては、万一に備え、常備する事を推奨させて頂きます。
- ・校正証明書（比抵抗）
- ・予備セル
- ・ユースポイントモニター用比抵抗センサー
- ・データ保存システム
-
※3:超純水の圧力は、常用0.35MPa、瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用下さい。
アルカリメグコン
【特徴】
- 1.被洗浄物の表面電位の極性、大きさを変えることにより、微粒子の静電付着を抑制します
- 2.フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
【原理】
アンモニア水を膜を介して超純水に注入します(特許出願済)
【型式・仕様】
| 型式 | AMII-10P | AMII-20P | |
|---|---|---|---|
| 性能 | 流量域 | 300～600 L/h | 600～1200 L/h |
| 制御域 | 0.1～1MΩ・cm | ||
| 接続経口 | 超純水 | Rc 1/2 | Rc 3/4 |
| 排気 | 25A PVCソケット | ||
| 寸法 | 520W x 400D x 1150H mm | ||
| 重量 | 65kg | ||
| ユーティリティー | アンモニア水 | ELグレード | |
| 窒素ガス | 0.3～0.5MPa x 50NL/min | ||
| 電源 | AC100V(50/60Hz) | ||
| キャビネット塗装色 | マンセル2.5Y8/2 | ||
| オプション | 1.アンモニア水貯液用キャニスター缶(10～15L) 2.アンモニア水残量モニター(警報機能付) |
||
オプション
【データ保存システム】
比抵抗, 温度, 流量データをパソコンへ取り込み、グラフで表示します。
このデータを保存することにより、貴社の洗浄管理に役立てることが可能となります。
| 対応OS | Windows2000、XP、VISTA | |
| 動作環境 | CPU | Pentium 150MHz以上 |
| HDD空き容量 | 10MB以上 | |
| メモリー | 32MB以上 | |
| グラフ | 画面の種類 | 1.リアルタイムデータ表示 2.保存データ再表示 |
| 表示項目 | 縦軸：比抵抗測定値(2点)、水温測定値(1点)、流量演算値(1点) 横軸：時間(年月日時分秒) |
|
| 警告表示 | 比抵抗測定値の上下限警報、炭酸ガス残量小 | |
| データ保存 | サンプリング周期 | 1～60sec (1sec刻み) |
| 保管形式 | csv形式、1時間毎に1データずつ保存します | |
| 最大時間 | 最大1ヵ月 | |
| 接続ケーブル | RS-232C(d-subピン)、RS-485 | |