製品情報 Products

超純水帯電防止器 MEGCON

半導体部品の精密洗浄における
静電気に起因する障害を解決するため、
超純水の比抵抗を調整した機能水を提供します。

概要

通常の精密洗浄は、イオン成分が殆ど存在しない超純水での洗浄となるため、静電気が発生し易く、下記の様な障害から製品不良の一因となっているケースがあります。
・静電気による回路破壊(=静電破壊)
・被洗浄物の表面荷電、静電気による微粒子の再付着
超純水帯電防止器MEGCONは、超純水の比抵抗を調整した機能水を作り出すことで、超純水による静電気の発生を抑え、製品不良の低減(歩留り向上)に貢献します。

用途

  • ダイシング工程における洗浄
  • 高圧ジェット洗浄
  • スクラバー洗浄
  • 液晶パネルの洗浄
  • フォトマスクおよびレクチルの洗浄 など

特長

  • 微粒子混入リスクが少なく、また炭酸ガスの消費量が少ない
  • フィードバック制御のため、流量変動に対して、目標比抵抗値へ素早く制御可能
  • 装置出入りでの超純水の圧力損失が小さい
  • 欧州へ輸出可能なCEマーキング シリーズをラインアップ
  • 大流量に対応(大流量機能をラインアップ)

※ 欧州(EU)指令で定められている安全規格と表示制度です

原理

炭酸ガスを膜を介して超純水に溶解します。

超純水帯電防止器 MEGCON
超純水帯電防止器 MEGCON 原理

超純水帯電防止器 MEGCONⅡ+ 仕様

MEGCON PRCⅡ+シリーズ キャビネットタイプ
型 式 標準 1000ACD 1200ACD 2000ACD 1220ACD 2040ACD
MEGCON PRCⅡ+シリーズ キャビネットタイプ 1000ACD-S 1200ACD-S 2000ACD-S 1220ACD-S 2040ACD-S
性 能 最大流量(L/h) 1000 1000 2000 2000 4000
制御域 ※2(MΩ・cm) 0.2~2.0 0.1~0.5 0.2~2.0 0.15~1.0 0.2~2.0
寸 法 標準 520W×400D×1150H mm
Sタイプ ※1 520W×400D×1415H mm
重 量 標準 65kg 70kg
Sタイプ ※1 66kg 71kg
接液部 セル(炭酸ガス導入部):PP
材 質 配管:PVC、ブレードホース 配管:PVC
超純水 接続口径 Rc1/2 Rc3/4 Rc1 1/4
ユーティリティ 超純水 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下)/温度:5~35℃/水質:10MΩ・cm以上
CO2ガス 圧力:0.1~0.2MPa/温度:5~35℃/純度:99.5%以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
エアーポンプ内蔵のため不要
電源 AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品 取扱説明書、検査成績書
100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
200-240V:電源コード 5m (プラグ無)
MEGCON PRCⅡ+/FRCⅡ+シリーズ ラックタイプ
型 式 1000ACD 1200ACD 2000ACD 1220ACD
性 能 最大流量(L/h) 1000 1000 2000 2000
制御域 ※2(MΩ・cm) 0.2~2.0 0.1~0.5 0.2~2.0 0.15~1.0
寸 法 480W×355D×200H mm
重 量 15kg
接液部 セル(炭酸ガス導入部):PP
材 質 配管:PVC、ブレードホース
超純水 接続口径 ホース用ノズル(IDφ19 ブレードホース用)
ユーティリティ 超純水 圧力:常用0.35MPa以下(最大0.45MPa以下)/温度:5~35℃/水質:10mΩ・cm以上
CO2ガス 圧力:0.1~0.2MPa/温度:5~35℃/純度:99.5%以上
ドライエアー
(膜乾燥用)
『PRC』シリーズ:エアーポンプ内蔵のため不要
『FRC』シリーズ:0.1~0.2MPa
電源 AC100-240V(50/60Hz)
標準付属品 取扱説明書、検査成績書
100-120V:電源コード2.8m(プラグ付)
200-240V:コード無 (端子台に接続してください)

※1 -Sタイプは、ブザー付2色灯+レベラー・キャスター付となります。
※2 最小値比抵抗値は、流量約500L/hrの場合の到達値です。

※ 超純水の圧力は、常用0.35MPa、瞬時の場合でも0.45MPa以下でご使用ください。
※ CEマーキングシリーズについては、ご相談ください。
※ 仕様および記載内容は、事前の予告無なしに変更することがあります。

オプション

データ保存システム

比抵抗、温度、流量データをパソコンへ取り込み、グラフで表示します。 このデータを保存することにより、貴社の洗浄管理に役立てることが可能となります。

対応OS Windows2000、XP、VISTA、7(32ビットのみ)
動作環境 CPU Pentium 150MHz以上
HDD空き容量 10MB以上
メモリー 32MB以上
グラフ 画面の種類 1. リアルタイムデータ表示 
2. 保存データ再表示
表示項目 縦軸:比抵抗測定値(2点)、水温測定値(1点)、流量演算値(1点)
横軸:時間(年月日時分秒)
警告表示 比抵抗測定値の上下限警報
データ保存 サンプリング周期 1~60sec (1sec刻み)
保管形式 csv形式、1時間ごとに1データずつ保存します
最大時間 最大1ヵ月
接続ケーブル RS-232C(d-subピン)、RS-485、RS-485、USB

※ 2020年よりWindows10対応予定