メンブレンプロセスシステム

シリコン研磨排水処理システム

概要

シリコンインゴットの外周研削、ウエハーの粗研磨・面取り、バックグラインダー、ダイサー、CMPなどの工程から出る研磨排水から水やシリコンを回収するシステムです。セラミック膜を使用することにより、ランニングコストの低減、産業廃棄物の減容化（排水を産業廃棄物として廃棄されているケース）に貢献します。

		セラミック膜	有機膜
ろ過性能	処理水SS濃度	＜1mg/L	＜1mg/L
	濃縮限界	＜50,000mg/L	＜5,000mg/L
	水回収率	99%	80%～90%
耐久性	信頼性	膜の破損劣化の危険性が少なく処理水質が安定	膜の劣化、折損の可能性有り
	洗浄回復性	耐薬品性に優れ、最適条件での洗浄が可能なため、回復性が良い	洗浄条件に制約があり、回復性が悪い
	寿命	長寿命	短寿命

水回収に加えて、シリコンを有価物として回収することができます。高濃縮が可能なセラミック膜と各種固液分離装置を組み合わせることで、効率的なシリコン回収が可能です。